1、X向横梁：采用精密斜梁技术。
2、Y向导轨：采用独特的直接加工在工作台上的整体下燕尾槽定位结构。
3、导轨方式：采用自洁式预载荷高精度空气轴承组成的四面环抱式静压气浮导轨。
4、驱动系统：采用本产高性能DC直流伺服电机、柔同步齿形带传动装置，各轴均有限位和电子控制，传动更快捷、运动性能更佳。
5、Z向主轴：可调节的气动平衡装置，提高了Z轴的精度。
6、控制系统：采用进口的双计算机三坐标专用控制系统。
7、机器系统：采用计算机辅助3D误差修正技术（CAA），保证系统的长期的稳定性和高精度。
8、测量软件：采用功能强大的3D-DMIS测量软件包，具有完善的测量功能和联机功能。
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规格
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测量范围（㎜）
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外形尺寸（㎜）
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测量精度
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最大载重(Kg)
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整机重量(Kg)
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X
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Y
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Z
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X
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Y
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Z
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空间示值误差 MPEE(μm)
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探测误差MPEP(μm)
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CMFH 575
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500
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700
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500
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1150
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1320
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2570
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2.2+3L/1000
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2.5
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500
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1500
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CMFH 8107
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800
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1000
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700
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1450
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1900
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3000
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2.5+3L/1000
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2.8
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1000
|
2400
|
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CMFH8157
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1500
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2400
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1200
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3000
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CMFH10128
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1000
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1200
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800
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1650
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2100
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3250
|
3.0+3L/1000
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3.5
|
1200
|
2900
|
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CMFH10158
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1500
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2400
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1350
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3300
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CMFH10208
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2000
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2900
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1500
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4200
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CMFH12158
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1200
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1500
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800
|
1850
|
2400
|
3250
|
3.8+3L/1000
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4.2
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1400
|
3800
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CMFH12208
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2000
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2900
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1600
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4500
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CMFH101510
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1000
|
1500
|
1000
|
1650
|
2400
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3700
|
3.8+L/250
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4.2
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1350
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3500
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CMFH102010
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2000
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1500
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4300
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备注：L是测量长度，单位为mm。
