2、Y向导轨：采用独特的直接加工在工作台上的整体下燕尾槽定位结构。
3、导轨方式：采用自洁式预载荷高精度空气轴承组成的四面环抱式静压气浮导轨。
4、驱动系统：采用本产高性能DC直流伺服电机、柔性同步齿形带传动装置，各轴均有限位和电子控制，传动更快捷、运动性能更佳。
5、Z向主轴：可调节的气动平衡装置，提高了Z轴的定位精度。
6、控制系统：采用进口的双计算机三坐标专用控制系统。
7、机器系统：采用计算机辅助3D误差修正技术（CAA），保证系统的长期的稳定性和高精度。
8、测量软件：采用功能强大的3D-DMIS测量软件包，具有完善的测量功能和联机功能。
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规格
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测量范围（㎜）
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外形尺寸（㎜）
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测量精度
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最大载重（Kg）
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整机重量（Kg）
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X
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Y
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Z
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X
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Y
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Z
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空间示值误差MPEE（μm）
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探测误差
MPEP （μm）
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CMF575
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500
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700
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500
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1150
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1320
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2570
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2.8+L/250
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3.2
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500
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1500
|
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CMF8107
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800
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1000
|
700
|
1450
|
1900
|
3000
|
3.2+L/250
|
3.5
|
1000
|
2400
|
|
CMF8157
|
1500
|
2400
|
1200
|
3000
|
|
CMF10128
|
1000
|
1200
|
800
|
1650
|
2100
|
3250
|
3.5+L/250
|
3.8
|
1200
|
2900
|
|
CMF10158
|
1500
|
2400
|
1350
|
3300
|
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CMF10208
|
2000
|
2900
|
1500
|
4200
|
|
CMF12158
|
1200
|
1500
|
800
|
1850
|
2400
|
3250
|
4.2+L/250
|
4.5
|
1400
|
3800
|
|
CMF12208
|
2000
|
2900
|
1600
|
4500
|
|
CMF101510
|
1000
|
1500
|
1000
|
1650
|
2400
|
3700
|
4.2+L/250
|
4.5
|
1350
|
3500
|
|
CMF102010
|
2000
|
2900
|
1500
|
4300
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