1、X向横梁：采用精密斜梁技术。
2、Y向导轨：采用独特的直接加工在工作台上的整体下燕尾槽定位结构。
3、导轨方式：采用自洁式预载荷高精度空气轴承组成的四面环抱式静压气浮导轨。
4、三轴运动：均有气源制动、传动制动双锁死开关及微动装置，可实现单轴的精密传动。
5、驱动系统：采用高载荷的4V无牙精密丝杠传动装置（专利技术）。
6、Z向主轴：采用平衡装置，提高了Z轴的定位精度。
7、控制系统：采用高性能手动三座标专用控制系统。
8、测量软件：采用功能强大的3D-DMIS测量软件， 具有完善的测量功能和联机功能 。
|
规 格
|
MMF575
|
|
测量范围（㎜）
|
500 × 700 × 500
|
|
外形尺寸（㎜）
|
1100 × 1300 × 2500
|
|
性能参数
|
|
长度测量系统
|
RENISHAW 反射式金属带状光栅尺 分辨率 1μm
|
|
测头系统
|
标配
|
MCP
|
|
选配
|
MH20i 、 MH8 ＋ TP20
|
|
可选测头系统
|
光学影象测头
|
|
可选附件
|
工装夹具、精密转台
|
|
测量精度指标
|
|
示值误差MPEE （μm）
|
3.0 ﹢ L / 250
|
|
探测误差MPEP （μm）
|
3.5
|
|
最大载重（ Kg ）
|
500
|
|
整机重量（ Kg ）
|
1500
|
备注：L是测量长度，单位为mm。
