1、光学照明系统：可调节LED冷光源，使工件表面照明均匀，提高了测量的高精度和可靠性。
2、测量精度：高精度的SONY彩色CCD摄像机、光学透镜及LED同步底光源的光路的同轴性都精确校准。
3、工作台：采用花岗岩的机座，带平板玻璃可移动的高刚性、表面阳极化的双层十字特种金属工作台，轴完全独立，运动互不干扰，所有轴运动均由高精度的直线导轨进行。
4、导轨方式：采用进口的具有极高耐磨性的特种钢制成的高精度直线导轨，保证了轴向直线度和垂直度。
5、驱动系统：采用高载荷的4V无牙精密丝杠传动装置（专利技术），确保系统传统更快捷，更精准。
6、Z轴采用平衡装置，提高了Z轴的定位精度及稳定性。
7、长度计量系统：光栅尺不直接接近被测工件，遵循了阿贝误差原理，减小了系统误差。

备注：L是测量长度，单位为mm。