1、X/Y/Z三轴光学尺。 2、OVM-Lite版光学影像量测软件。 3、线性精度课达到：（2+L/200）μm。 4、CCD：日本原装SENTECH CCD。 5、镜头：NIKON三目微分干涉偏光镜头模块/NAVITAR偏光镜头模组。 具体型号 VM-偏光250 VM-偏光300 VM-偏光400 (X/Y/Z轴)量测行程(mm) 250*150*200 300*200*200 400*300*200 全机尺寸(mm) 1000*650*1650 1000*650*1650 1000*650*1650 机台底座和立柱材料 高精度花岗石 CCD 3DFAMILY彩色CCD X,Y轴量测精度 （2+L/200）μm 放大倍率 43万像素日本原装彩色CCD 光学尺解析度 1 μm 重复性 2 μm 操作方式 手动 机台承重 30KG 电源供给 110/220V 合适温度，湿度 温度：19°--24°，湿度：45%--75% 保修期 1年
具体型号
VM-偏光250
VM-偏光300
VM-偏光400
(X/Y/Z轴)量测行程(mm)
250*150*200
300*200*200
400*300*200
全机尺寸(mm)
1000*650*1650
机台底座和立柱材料
高精度花岗石
CCD
3DFAMILY彩色CCD
X,Y轴量测精度
（2+L/200）μm
放大倍率
43万像素日本原装彩色CCD
光学尺解析度
1 μm
重复性
2 μm
操作方式
手动
机台承重
30KG
电源供给
110/220V
合适温度，湿度
温度：19°--24°，湿度：45%--75%
保修期
1年
备注：L是测量长度，单位为mm。
