产品特点：
1 、非接触式测量：避免物件受损。
2 、三维表面测量：表面高度测量范围为 1nm ---200μm。
3 、多重视野镜片：方便物镜的快速切换。
4 、纳米级分辨率：垂直分辨率可以达到0.1nm。
5、高速数字信号处理器：实现测量仅需要几秒钟。
6 、扫描仪：采用闭环控制系统。
7、工作台：气动装置、抗震、抗压。
8 、测量软件：基于windows 操作系统的用户界面，强大而快速的运算。
应用领域：
1、TFT产业
2、半导体
3、MEMS
4、高校科研
5、精密加工
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机型
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SIS 1200
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SIS 2000
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工作台
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尺寸
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250 mm×174 mm
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350mm×350mm
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倾斜度
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±3 °
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测量行程
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X:150mm Y:100mm
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X:200mm Y:200mm
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Z轴行程
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50mm
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100mm
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运动方式
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手动
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自动，马达驱动
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扫描速度
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30μm/sec
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垂直分辨率
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0.1 nm
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CCD
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黑白CCD， 640×480 像素
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物镜安装架
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手动导引五孔式
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手动 5个位移的可定位夹具
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镜头选配
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镜头：5×、10×、20×、50×
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系统参数：
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测量技术
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增强相位扫描干涉 相位移动干涉
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放大率
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2.5X
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5X
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10X
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20X
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50X
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视场 (mm)
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3.62×2.72
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1.81×1.36
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0.90×0.68
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0.45×0.34
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0.18×0.13
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横向分辨率
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4.72μm
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2.72μm
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1.18μm
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0.88μm
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0.64μm
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控制器
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电脑
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软件
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i2000 and SNU Map
Windows 2000环境下运行
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扫描仪
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闭环控制
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抗震工作台
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气动装置
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